Alvo giratório de metal
Descrição do produto
Alvo giratório de metal
Campos magnéticos e elétricos ortogonais são aplicados entre o alvo de pulverização catódica (cátodo) e o ânodo.E preencha o gás inerte necessário (geralmente gás Ar) na câmara de alto vácuo.Sob a ação de um campo elétrico, o gás Ar é ionizado em íons positivos e elétrons.Uma certa alta voltagem negativa é aplicada ao alvo, os elétrons emitidos pelo alvo são afetados pelo campo magnético, a probabilidade de ionização do gás de trabalho aumenta, um plasma de alta densidade é formado perto do cátodo e os íons Ar são afetados pela força de Lorentz.Em seguida, acelere para voar para a superfície do alvo e bombardeie a superfície do alvo em alta velocidade, de modo que os átomos pulverizados no alvo sigam o princípio da conversão de momento, voem da superfície do alvo para o substrato e depositem um filme de alta energia cinética.
Para melhorar ainda mais a taxa de utilização do material alvo, um cátodo rotativo com maior eficiência de uso é projetado e um material alvo tubular é usado para revestimento por pulverização catódica.A melhoria do equipamento de pulverização exige que o alvo seja alterado de uma forma plana para uma forma tubular, e a taxa de utilização do alvo rotativo tubular pode chegar a 70%, o que resolve em grande parte o problema de baixa utilização do alvo plano.
| Nome dos produtos | Alvo giratório de metal |
| Material | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
| Tamanho de venda quente | ID-133/OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm Também pode ser processado de acordo com os requisitos específicos dos clientes |
| MOQ | 3 pedaços |
| Pacote | Caixa de madeira dobrada |
Nota: Nós produzimos principalmente vários alvos de metal, por favor, consulte-nos para mais detalhes.
Inscrição
O revestimento por pulverização catódica é um novo tipo de método de revestimento por vapor físico.Comparado com o método de revestimento por evaporação, tem vantagens óbvias.
em muitos aspectos.Alvos de pulverização catódica têm sido usados em muitos campos.A principal aplicação do alvo rotativo.
■Células solares
■vidro arquitetônico
■vidro automotivo
■Semicondutor
■TV de tela plana, etc.
Informações do pedido
Consultas e pedidos devem incluir as seguintes informações:
☑Especificação do alvo ID×OD×L (mm).
☑Quantidade Requerida.
☑Entre em contato conosco para mais necessidades especiais.
